光の反射効率を極めた増反射膜技術

通常、ミラー面は入ってくる光の角度によって反射率が変化する特性がありますが、このミラー面に増反射膜を施すことで、特定の光を角度関係なく均一に反射することを実現します。また、膜の構成を工夫することで、反射率そのものの向上も可能になります。

増反射膜は、左図に示すように、光の通過しやすさが異なる材料（高屈折率と低屈折率）を交互に積層することで、より多くの光を効率的に反射することが可能になります。（各層で反射された光の位相がそろい、光が強められるため）
本来この膜は光学素子の表面に使われますが、当社では半導体の基板となるウェハー上に形成し、光を効率よくコントロールする用途に活用しています。ウェハーとの密着性を高めるとともに、その後の半導体プロセスを考慮した膜構造となるよう工夫して形成しています。

1. 求める反射率を実現する膜
増反射膜は、使用する光の種類・光の入ってくる角度に合わせて、膜の構成や材料を調整します。
アルミ素材のみの反射面と比較しても、大幅に反射率を向上させることができます。

2.高耐久・高反射な膜
土台であるアルミ合金製の反射面は、増反射膜との密着性を高め、安定した基盤となっています。 さらに、最表面に施された保護膜が酸化や損傷を防ぎ、反射性能の低下を抑制します。この保護膜も機械的強度が優れているため、丈夫な膜となっています。
これにより、高い反射率を維持しながら、優れた耐久性と長寿命を兼ね備えた膜が実現されています。