高反射率涂层技术实现终极光反射效率

通常镜面反射率随入射光角度变化，但通过在镜面施加高反射率涂层，可实现特定光线在任意角度下的均匀反射。此外，通过精密设计膜层结构，还能进一步提升反射率本身。

如右图所示，高反射率涂层由交替排列的不同透光特性材料层构成（即高折射率与低折射率材料交替）。这种结构能更高效地反射更多光线（本质上是通过使各层反射光的相位对齐来增强光强）。
该涂层最初应用于光学元件表面，如今我们将其应用于半导体基板晶圆以实现高效光控。通过精密工艺形成涂层，既增强了与晶圆的附着力，又构建出适配后续半导体工艺的涂层结构。

1. 实现理想反射率的涂层
高反射涂层的成分与材料会根据使用光线类型及入射角度进行调整。
与仅使用铝材制成的反射面相比，反射率显著提高。

2.高耐久性反射涂层
铝合金反射器表面作为基底，增强了与高反射率涂层的附着力，提供了稳定的基础。此外，顶层的保护涂层可防止氧化和损伤，抑制反射性能的任何衰减。该保护涂层还具有优异的机械强度，使其成为一种高度耐用的涂层。由此形成的涂层兼具卓越的耐久性、长寿命和高反射率。